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Advanced Microcolumn Operation for Low-Energy Electron-Beam Lithography
Advanced Microcolumn Operation for Low-Energy Electron-Beam Lithography
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 03744884
- 저자명
- Y. C. Kim
- 서명/저자
- Advanced Microcolumn Operation for Low-Energy Electron-Beam Lithography / Y. C. Kim , H. S. Kim , S. J. Ahn , H. W. Kim , T. Yoshimoto , D. W. Kim
- 발행사항
- 서울 : 한국물리학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 1428-1433
- 기타저자
- H. S. Kim
- 기타저자
- S. J. Ahn
- 기타저자
- H. W. Kim
- 기타저자
- T. Yoshimoto
- 기타저자
- D. W. Kim
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60144792
MARC
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