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플라즈마 식각공정의 동적 퍼지 모델과 실시간 이상검출
플라즈마 식각공정의 동적 퍼지 모델과 실시간 이상검출
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- 저자명
- 고택범
- 서명/저자
- 플라즈마 식각공정의 동적 퍼지 모델과 실시간 이상검출 / 고택범 저
- 발행사항
- 경주 : 경주대학교 정보전자기술연구소, 2004.
- 형태사항
- pp. 1-16
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60144541
MARC
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■300 ▼app. 1-16
■773 ▼t情報電子技術論叢▼g2004년 3월 (제3권)▼d2004, 02
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