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실리콘 웨이퍼 세정공정의 오존/UV 효과
실리콘 웨이퍼 세정공정의 오존/UV 효과
상세정보
- 자료유형
- 기사
- 저자명
- 최상태
- 서명/저자
- 실리콘 웨이퍼 세정공정의 오존/UV 효과 / 최상태 , 전병준 공저
- 발행사항
- 경주 : 경주대학교 정보전자기술연구소, 2003.
- 형태사항
- pp. 205-214
- 기타저자
- 전병준
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60144538
MARC
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