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KOH 용액을 이용한 단결정 실리콘의 이방성 식각특성에 관한 연구
KOH 용액을 이용한 단결정 실리콘의 이방성 식각특성에 관한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 김환영
- 서명/저자
- KOH 용액을 이용한 단결정 실리콘의 이방성 식각특성에 관한 연구 / 김환영 , 천인호 , 김창교 , 조남인 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1997.
- 형태사항
- pp. 449-455
- 기타저자
- 천인호
- 기타저자
- 김창교
- 기타저자
- 조남인
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 7 No. 3 (1997년 8월) 1997, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142740
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