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KOH 용액을 이용한 단결정 실리콘의 이방성 식각특성에 관한 연구
KOH 용액을 이용한 단결정 실리콘의 이방성 식각특성에 관한 연구
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12251429
- Author
- 김환영
- Title/Author
- KOH 용액을 이용한 단결정 실리콘의 이방성 식각특성에 관한 연구 / 김환영 ; 천인호 ; 김창교 ; 조남인 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국결정성장학회, 1997.
- Material Info
- pp. 449-455
- Added Entry-Personal Name
- 천인호
- Added Entry-Personal Name
- 김창교
- Added Entry-Personal Name
- 조남인
- Host Item Entry
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 7 No. 3 (1997년 8월) 1997, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142740
MARC
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