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8인치 실리콘성장을 위한 커스프 MCZ계에서 축방향 산소분포에 대한 연구
8인치 실리콘성장을 위한 커스프 MCZ계에서 축방향 산소분포에 대한 연구
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 이승철
- 서명/저자
- 8인치 실리콘성장을 위한 커스프 MCZ계에서 축방향 산소분포에 대한 연구 / 이승철 , 윤종규 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1997.
- 형태사항
- pp. 406-417
- 기타저자
- 윤종규
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 7 No. 3 (1997년 8월) 1997, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142736
MARC
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