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실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가
실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 최치영
- 서명/저자
- 실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가 / 최치영 , 조상희 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1998.
- 형태사항
- pp. 117-123
- 기타저자
- 조상희
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 8 No. 1 (1998년 2월) 1998, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142714
MARC
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