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실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가
실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12251429
- Author
- 최치영
- Title/Author
- 실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가 / 최치영 ; 조상희 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국결정성장학회, 1998.
- Material Info
- pp. 117-123
- Added Entry-Personal Name
- 조상희
- Host Item Entry
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 8 No. 1 (1998년 2월) 1998, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142714
MARC
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