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실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가
실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가 ...
실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12251429
저자명  
최치영
서명/저자  
실리콘 웨이퍼에서 광열 변위법과 소수 반송자 재결합 수명 측정에 의한 기계적 후면 손상 평가 / 최치영 , 조상희 공저
발행사항  
서울 : 한국결정성장학회, 1998.
형태사항  
pp. 117-123
기타저자  
조상희
기본자료저록  
Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 8 No. 1 (1998년 2월) 1998, 02
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60142714

MARC

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