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다결정 Si₁-xGex박막 증착에 관한 연구(Ⅱ) 증착변수에 따른 표면거칠기, 결정립크기 및 전기적성질 변화
다결정 Si₁-xGex박막 증착에 관한 연구(Ⅱ) 증착변수에 따른 표면거칠기, 결정립크기 및 전기적성질 변화
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 이승호
- 서명/저자
- 다결정 Si₁-xGex박막 증착에 관한 연구(Ⅱ) 증착변수에 따른 표면거칠기, 결정립크기 및 전기적성질 변화 / 이승호 , 어경훈 , 소명기 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1998.
- 형태사항
- pp. 64-72
- 기타저자
- 어경훈
- 기타저자
- 소명기
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 8 No. 1 (1998년 2월) 1998, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142703
MARC
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