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CF₄플라즈마에서 반응성 이온식각한 알루미늄 박막의 표면분석
CF₄플라즈마에서 반응성 이온식각한 알루미늄 박막의 표면분석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 김동원
- 서명/저자
- CF₄플라즈마에서 반응성 이온식각한 알루미늄 박막의 표면분석 / 김동원 , 이원종 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1995.
- 형태사항
- pp. 351-357
- 기타저자
- 이원종
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 5 No. 4 (1995년 12월) 1995, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142644
MARC
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