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저탈각(100) Si 기판의 열산화 및 적층 결함
저탈각(100) Si 기판의 열산화 및 적층 결함
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 김준우
- 서명/저자
- 저탈각(100) Si 기판의 열산화 및 적층 결함 / 김준우 , 최두진 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1996.
- 형태사항
- pp. 185-193
- 기타저자
- 최두진
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 6 No. 2 (1996년 5월) 1996, 05
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142617
MARC
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