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반응성 sputtering법으로 제막된 ZnO : Al 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 열처리의 영향
반응성 sputtering법으로 제막된 ZnO : Al 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 열처리의 영향
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 유세웅
- 서명/저자
- 반응성 sputtering법으로 제막된 ZnO : Al 박막의 전기·광학적 특성에 미치는 열처리의 영향 / 유세웅 , 유병석 , 이정훈 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1996.
- 형태사항
- pp. 493-500
- 기타저자
- 유병석
- 기타저자
- 이정훈
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 6 No. 4 (1996년 11월) 1996, 07
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142554
MARC
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