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MOCVD법으로 젲호한 Al2O3 박막의 열처리에 의한 특성 평가
MOCVD법으로 젲호한 Al2O3 박막의 열처리에 의한 특성 평가
상세정보
MARC
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■1001 ▼a이상화
■24510▼aMOCVD법으로 젲호한 Al2O3 박막의 열처리에 의한 특성 평가▼d이상화▼e김종국▼e박병옥 공저
■260 ▼a서울▼b한국결정성장학회▼c1997.
■300 ▼app. 216-223
■7001 ▼a김종국
■7001 ▼a박병옥
■773 ▼tJournal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology▼gVol. 7 No. 2 (1997년 5월)▼d1997, 05
■SIS ▼aS034028▼b60077034▼h8▼s2▼fP


