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비질량 분리 이온 질량 주입법으로 디핑시킨 다결정 박막의 다판트 활성화 거동
비질량 분리 이온 질량 주입법으로 디핑시킨 다결정 박막의 다판트 활성화 거동
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12251429
- 저자명
- 윤진영
- 서명/저자
- 비질량 분리 이온 질량 주입법으로 디핑시킨 다결정 박막의 다판트 활성화 거동 / 윤진영 , 최덕균 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국결정성장학회, 1997.
- 형태사항
- pp. 143-150
- 기타저자
- 최덕균
- 기본자료저록
- Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology : Vol. 7 No. 1 (1997년 2월) 1997, 02
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60142244
MARC
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