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 기사

ISSN  

03744884

저자명  

D.G.Lim

서명/저자  

Modified CeO2 Deposition Process for High-k Oxide Gate Dielectrics / D.G.Lim , G.S.Kang , J.H.Yi , K.J.Yang , J.H.Lee

발행사항  

서울 : 한국물리학회, 2007.

형태사항  

pp. 1085-1088

기타저자  

G.S.Kang

기타저자  

J.H.Yi

기타저자  

K.J.Yang

기타저자  

J.H.Lee

기본자료저록  

Journal of The Korean Physical Society : Vol. 51 No. 3 (2007. 9) 2007, 09

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모체정보확인

Control Number  

kjul:60141671