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Dose Rate에 따른 Surface Roughness와 Depth Profile의 변화
Dose Rate에 따른 Surface Roughness와 Depth Profile의 변화
상세정보
MARC
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■24510▼aDose Rate에 따른 Surface Roughness와 Depth Profile의 변화▼d정비용▼e유윤석▼e이호철▼e박민철▼e이경남▼e강석태 공저
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■7001 ▼a강석태
■773 ▼t새물리▼g제53권 제3호 (2006년 9월)▼d2006, 09
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