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DC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 성막된 IZO 박막의 공정 특성
DC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 성막된 IZO 박막의 공정 특성
상세정보
MARC
008100722s2007 ulka a kor■022 ▼a03744914
■1001 ▼a이재환
■24510▼aDC 마그네트론 스퍼터링 방법에 의해 성막된 IZO 박막의 공정 특성▼d이재환▼e유성원▼e장덕우▼e홍재석▼e이병로▼e홍우표▼e김종재▼e김화민▼e박승환 공저
■260 ▼a서울▼b한국물리학회▼c2007.
■300 ▼app. 590-594
■7001 ▼a유성원
■7001 ▼a장덕우
■7001 ▼a홍재석
■7001 ▼a이병로
■7001 ▼a홍우표
■7001 ▼a김종재
■7001 ▼a김화민
■7001 ▼a박승환
■773 ▼t새물리▼g제53권 제6호 Pt. 2(2006년 12월)▼d2007, 01
■SIS ▼aS037301▼b60076824▼h8▼s2▼fP


