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정밀 측정에 의한 실리콘(001) 웨이퍼에서 불순물 원자 주위의 구조
정밀 측정에 의한 실리콘(001) 웨이퍼에서 불순물 원자 주위의 구조 / 구자용 저
정밀 측정에 의한 실리콘(001) 웨이퍼에서 불순물 원자 주위의 구조

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12252336
저자명  
구자용
서명/저자  
정밀 측정에 의한 실리콘(001) 웨이퍼에서 불순물 원자 주위의 구조 / 구자용 저
발행사항  
서울 : 한국물리학회, 2006.
형태사항  
pp. 26-30
기본자료저록  
물리학과 첨단기술=Physics & High Technology : Vol. 15 No. 9 (2006년 9) 2006, 09
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60138034

MARC

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