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실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성
실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12264881
- Author
- 김형우
- Title/Author
- 실리콘 웨이퍼 상에 제작된 미소 유로에서의 유동특성 / 김형우 ; 원찬식 ; 정시영 ; 허남건 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한기계학회, 2001.
- Material Info
- pp. 1844-1852
- Added Entry-Personal Name
- 원찬식
- Added Entry-Personal Name
- 정시영
- Added Entry-Personal Name
- 허남건
- Host Item Entry
- 대한기계학회논문집B=Transactions of the korean society of mechanical e : 제25권 제12호 (통권 제195호)(2001년 12월) 2001, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60129518
MARC
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