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미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구
미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구
상세정보
MARC
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■24510▼a미세 가공 시스템에서 분무특성이 에칭특성에 미치는 영향에 관한 연구▼d정지원▼e김덕줄 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2004.
■300 ▼app. 109-117
■7001 ▼a김덕줄
■773 ▼t대한기계학회논문집B=Transactions of the korean society of mechanical e▼g제28권 제1호 (통권 제220호)(2004년 1월)▼d2004, 01
■SIS ▼aS010540▼b60013887▼h8▼s2▼fP


