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고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구
고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구 / 김진택 , 백병...
고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12264881
저자명  
김진택
서명/저자  
고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구 / 김진택 , 백병준 , 이철로 , 박복춘 공저
발행사항  
서울 : 대한기계학회, 2004.
형태사항  
pp. 1625-1631
기타저자  
백병준
기타저자  
이철로
기타저자  
박복춘
기본자료저록  
대한기계학회논문집B=Transactions of the korean society of mechanical e : 제28권 제12호 (통권 제231호)(2004년 12월) 2004, 12
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60128673

MARC

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