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고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구
고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구
상세정보
MARC
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■1001 ▼a김진택
■24510▼a고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구▼d김진택▼e백병준▼e이철로▼e박복춘 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2004.
■300 ▼app. 1625-1631
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■7001 ▼a이철로
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■773 ▼t대한기계학회논문집B=Transactions of the korean society of mechanical e▼g제28권 제12호 (통권 제231호)(2004년 12월)▼d2004, 12
■SIS ▼aS010896▼b60013887▼h8▼s2▼fP


