자료유형  

 기사

ISSN  

12264873

저자명  

김기돈

서명/저자  

EPS(Elementwise Pattemed Stamp) 를 이용한 UV 나노임프린트 공정에서 웨이퍼 변형에 따른 잔류층 분석 / 김기돈 , 심영석 , 정준호 , 손현기 , 이응숙 , 이상찬 , 방영매 공저

발행사항  

서울 : 대한기계학회, 2005.

형태사항  

pp. 1169-1174

기타저자  

심영석

기타저자  

정준호

기타저자  

손현기

기타저자  

이응숙

기타저자  

이상찬

기타저자  

방영매

기본자료저록  

대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical . : 제29권 제9호 (통권 제240호)(2005년 9월) 2005, 09

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Control Number  

kjul:60128539