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나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션
나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션
Detailed Information
MARC
008100330s2005 ulka a kor■022 ▼a12264873
■100 ▼a강지훈
■245 ▼a나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션▼d강지훈,김광섭,김경웅 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2005.
■300 ▼app. 852-859
■7001 ▼a김광섭
■7001 ▼a김경웅
■773 ▼t대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical .▼g제29권 제6호 (통권 제237호)(2005년 6월)▼d2005, 06
■SIS ▼aS016277▼b60013871▼h8▼s2▼fP


