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나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션
나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션 / 강지...
나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12264873
저자명  
강지훈
서명/저자  
나노임프린트 리소그래피에서의 폴리머 레지스트의 변형에 관한 분자 동역학 시뮬레이션 / 강지훈,김광섭,김경웅 공저
발행사항  
서울 : 대한기계학회, 2005.
형태사항  
pp. 852-859
기타저자  
김광섭
기타저자  
김경웅
기본자료저록  
대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical . : 제29권 제6호 (통권 제237호)(2005년 6월) 2005, 06
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60128367

MARC

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