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사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉패키징 및 특성시험
사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉패키징 및 특성시험
Detailed Information
MARC
008100322s2004 ulka a kor■022 ▼a12264873
■100 ▼a서영호
■245 ▼a사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉패키징 및 특성시험▼d서영호,김성아,조영호,김근호,부종욱 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2004.
■300 ▼app. 435-442
■7001 ▼a김성아
■7001 ▼a조영호
■7001 ▼a김근호
■7001 ▼a부종욱
■773 ▼t대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical .▼g제28권 제4호 (통권 제223호)(2004년 4월)▼d2004, 04
■SIS ▼aS010624▼b60013871▼h8▼s2▼fP
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