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사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉패키징 및 특성시험
사각고리형상의 AuSn   합금박막을 이용한  MEMS 밀봉패키징 및 특성시험 / 서영호,김성아,조영...
사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉패키징 및 특성시험

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12264873
저자명  
서영호
서명/저자  
사각고리형상의 AuSn 합금박막을 이용한 MEMS 밀봉패키징 및 특성시험 / 서영호,김성아,조영호,김근호,부종욱 공저
발행사항  
서울 : 대한기계학회, 2004.
형태사항  
pp. 435-442
기타저자  
김성아
기타저자  
조영호
기타저자  
김근호
기타저자  
부종욱
기본자료저록  
대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical . : 제28권 제4호 (통권 제223호)(2004년 4월) 2004, 04
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60127731

MARC

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