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화학기계적 연마 프로세스의 동적 열전달 모델링 연구
화학기계적 연마 프로세스의 동적 열전달 모델링 연구
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■100 ▼a석종원
■245 ▼a화학기계적 연마 프로세스의 동적 열전달 모델링 연구▼d석종원 저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2004.
■300 ▼app. 617-623
■773 ▼t대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical .▼g제28권 제5호 (통권 제224호)(2004년 5월)▼d2004, 05
■SIS ▼aS010625▼b60013871▼h8▼s2▼fP


