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나노 임프린트 리소그래피법에 의한 나노미터급 원기둥 패턴을 갖는 도광판의 제작 공정 개발
나노 임프린트 리소그래피법에 의한 나노미터급 원기둥 패턴을 갖는 도광판의 제작 공정 개발
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 19765622
- 저자명
- 이병욱
- 서명/저자
- 나노 임프린트 리소그래피법에 의한 나노미터급 원기둥 패턴을 갖는 도광판의 제작 공정 개발 / 이병욱,홍진수,김창교 공저
- 발행사항
- 경기 : 제어.로봇.시스템학회, 2008.
- 형태사항
- pp. 332-335
- 기타저자
- 홍진수
- 기타저자
- 김창교
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60121431
MARC
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■773 ▼t제어.로봇.시스템학회 논문지▼g2008년 4월 (제14권 제4호)▼d2008, 04
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