자료유형  

 기사

ISSN  

19765622

저자명  

홍성재

서명/저자  

반송제어모드를 이용한 인라인 식각/세정장치의 ITO 전극형성기술 / 홍성재,임승혁,한형석,권상직,조의식 공저

발행사항  

경기 : 제어.로봇.시스템학회, 2008.

형태사항  

pp. 327-331

기타저자  

임승혁

기타저자  

한형석

기타저자  

권상직

기타저자  

조의식

기본자료저록  

제어.로봇.시스템학회 논문지 : 2008년 4월 (제14권 제4호) 2008, 04

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60121430