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양성자 빔을 이용한 MEMS 소자 패키징 기술 개발 = (The)development of MEMSdevice packaging technology using proton beam : 최종보고서
양성자 빔을 이용한 MEMS 소자 패키징 기술 개발 = (The)development of MEMSdevice packaging technology using proton beam : 최종보고서
Detailed Information
- 자료유형
- 참고자료
- 청구기호
- 559.16 현76야
- 저자명
- 현준원.
- 서명/저자
- 양성자 빔을 이용한 MEMS 소자 패키징 기술 개발 = (The)development of MEMSdevice packaging technology using proton beam : 최종보고서 / 연구책임: 현준원 , 연구원: 김은호 [외] , 연구기관: 단국대학교 산학협력단.
- 발행사항
- [대전] : 한국원자력연구소 양성자기반공학기술개발사업단, 2007.
- 형태사항
- 38 장 : 삽도 ; 30 cm.
- 주기사항
- 2/3단계
- 서지주기
- 참고문헌 수록
- 기타서명
- 양성자가속기 이용자프로그램 개발 및 운영
- 기타서명
- Development and management of proton accelerator user program
- Control Number
- kjul:60105581
MARC
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