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표면미세가공시 발행하는 mems 구조물의 변형 억제
표면미세가공시 발행하는 mems 구조물의 변형 억제
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259071
- 저자명
- 홍석관
- 서명/저자
- 표면미세가공시 발행하는 mems 구조물의 변형 억제 / 홍석관 , 권순철 , 전병희 , 신형재 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국정밀공학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 163-170
- 기타저자
- 권순철
- 기타저자
- 전병희
- 기타저자
- 신형재
- 기본자료저록
- 한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 8 (2006년 8월) 2006, 08
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60095165
MARC
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■URL ▼ahttp://www. kspe.or.kr
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