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마이크로 espi 기법에 의한 면내 측정 민감도 향상
마이크로 espi 기법에 의한 면내 측정 민감도 향상 / 김동일 , 허용학 , 기창두 공저
마이크로 espi 기법에 의한 면내 측정 민감도 향상

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12259071
저자명  
김동일
서명/저자  
마이크로 espi 기법에 의한 면내 측정 민감도 향상 / 김동일 , 허용학 , 기창두 공저
발행사항  
서울 : 한국정밀공학회, 2006.
형태사항  
pp. 54-63
키워드  
마이크로 ESPI 기법 면내 측정 민감도 향상
기타저자  
허용학
기타저자  
기창두
기본자료저록  
한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 8 (2006년 8월) 2006, 08
URL  
http://www. kspe.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60095137

MARC

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