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마이크로 espi 기법에 의한 면내 측정 민감도 향상
마이크로 espi 기법에 의한 면내 측정 민감도 향상
상세정보
MARC
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■1001 ▼a김동일
■245 ▼a마이크로 espi 기법에 의한 면내 측정 민감도 향상▼d김동일▼e허용학▼e기창두 공저
■260 ▼a서울▼b한국정밀공학회▼c2006.
■300 ▼app. 54-63
■653 ▼a마이크로▼aESPI▼a기법▼a면내▼a측정▼a민감도▼a향상
■7001 ▼a허용학
■7001 ▼a기창두
■773 ▼t한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering▼gVol. 23 No. 8 (2006년 8월)▼d2006, 08
■URL ▼ahttp://www. kspe.or.kr
■SIS ▼aS028667▼b60077409▼h8▼s2


