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대면적 플랫폼을 갖는 probe-based storage device(psd)용 정전형 2축 MEMS 스테이지
대면적 플랫폼을 갖는 probe-based storage device(psd)용 정전형 2축 MEMS 스테이지
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12259071
- Author
- 정일진
- Title/Author
- 대면적 플랫폼을 갖는 probe-based storage device(psd)용 정전형 2축 MEMS 스테이지 / 정일진 ; 전종업 공저
- Publish Info
- 서울 : 한국정밀공학회, 2006.
- Material Info
- pp. 179-189
- Index Term-Uncontrolled
- 대면 플랫폼 PROBEBASED STORAGE DEVICEPSD용 정전 2축 MEMS 스테이지
- Added Entry-Personal Name
- 전종업
- Host Item Entry
- 한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 9 (2006년 9월) 2006, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60095115
MARC
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■URL ▼ahttp://www.kspe.or.kr
■SIS ▼aS032501▼b60077409▼h8▼s2
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