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대면적 플랫폼을 갖는 probe-based storage device(psd)용 정전형 2축 MEMS 스테이지
대면적 플랫폼을 갖는 probe-based storage device(psd)용 정전형 2축 MEMS 스테이지
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259071
- 저자명
- 정일진
- 서명/저자
- 대면적 플랫폼을 갖는 probe-based storage device(psd)용 정전형 2축 MEMS 스테이지 / 정일진 , 전종업 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국정밀공학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 179-189
- 키워드
- 대면 플랫폼 PROBEBASED STORAGE DEVICEPSD용 정전 2축 MEMS 스테이지
- 기타저자
- 전종업
- 기본자료저록
- 한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 9 (2006년 9월) 2006, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60095115
MARC
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