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액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝
액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝 / 김상원 , 박신증 , 강신일 , 한...
액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12259071
저자명  
김상원
서명/저자  
액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝 / 김상원 , 박신증 , 강신일 , 한재원 공저
발행사항  
서울 : 한국정밀공학회, 2006.
형태사항  
pp. 128-134
키워드  
홀로 그래픽 리소 그래피 기술 이용 2차원 나노
기타저자  
박신증
기타저자  
강신일
기타저자  
한재원
기본자료저록  
한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 12 (2006년 12월) 2006, 12
URL  
http://wwww.kspe.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60095068

MARC

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