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액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝
액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259071
- 저자명
- 김상원
- 서명/저자
- 액침 홀로그래픽 리소그래피 기술을 이용한 2차원 나노패터닝 / 김상원 , 박신증 , 강신일 , 한재원 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국정밀공학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 128-134
- 기타저자
- 박신증
- 기타저자
- 강신일
- 기타저자
- 한재원
- 기본자료저록
- 한국정밀공학회지=Journal of Korean Society for Precision Engineering : Vol. 23 No. 12 (2006년 12월) 2006, 12
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60095068
MARC
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■URL ▼ahttp://wwww.kspe.or.kr
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