자료유형  

 기사

ISSN  

12294691

저자명  

양충모

서명/저자  

Mo/siO₂/Si(100)기판위에 mocvd 법으로 성장시킨 ain 박막이용GHz대역의 fbar 제작에 관한 연구 / 양충모 , 김성권 , 차재상 , 박구만 공저

발행사항  

서울 : 한국조명전기설비학회, 2006.

형태사항  

pp. 7-11

키워드  

MOSIO₂SI100기판위에 MOCVD 성장 시킨 박막 FBAR 제작

기타저자  

김성권

기타저자  

차재상

기타저자  

박구만

기본자료저록  

照明.電氣設備學會論文誌(Journal of the Korean Institute of Illuminatin : 제20권 제4호 (2006년 5월) 2006, 05

URL  

http://www.kiiee.or.kr

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60094541