자료유형  

 기사

ISSN  

10169288

저자명  

최준혁

서명/저자  

NEMS공정 장비 기술 / 최준혁 , 정준호 , 이응숙 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2006.

형태사항  

pp. 28-38

키워드  

NEMS공정 장비 기술

기타저자  

정준호

기타저자  

이응숙

기본자료저록  

전자공학회지(The Magazine of the IEEK) : 제33권 제4호 (2006 4) 2006, 04

URL  

http://www.ieek.or.kr

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Control Number  

kjul:60093910