자료유형  

 기사

ISSN  

10169288

저자명  

이승윤

서명/저자  

차세대 극자외선 리소크라피(EUVL) 기술 / 이승윤 , 안진호 공저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2006.

형태사항  

pp. 65-73

키워드  

리소 기술

기타저자  

안진호

기본자료저록  

전자공학회지(The Magazine of the IEEK) : 제33권 제5호 (2006 5) 2006, 05

URL  

http://www.ieek.or.kr

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Control Number  

kjul:60093902