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초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성
초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성  / 정귀상 저 , 온창민 공저
초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성

Detailed Information

자료유형  
 기사
ISSN  
12255475
저자명  
정귀상
서명/저자  
초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성 / 정귀상 저 , 온창민 공저
발행사항  
서울 : 한국센서학회, 2006.
형태사항  
pp. 386-390
키워드  
초고 MEMS용 다결정 3CSIC의 OHMIC CONTACT
기타저자  
온창민
기본자료저록  
센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제15권 제6호 (2006년 11월) 2006, 11
URL  
http://www.sensors.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60090994

MARC

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