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초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성
초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성
상세정보
MARC
008070228s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12255475
■1001 ▼a정귀상
■245 ▼a초고온 MEMS용 다결정 3C-SiC의 Ohmic Contact 특성 ▼d정귀상 저▼e온창민 공저
■260 ▼a서울▼b한국센서학회▼c2006.
■300 ▼app. 386-390
■653 ▼a초고▼aMEMS용▼a다결정▼a3CSIC의▼aOHMIC▼aCONTACT
■7001 ▼a온창민
■773 ▼t센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society▼g제15권 제6호 (2006년 11월)▼d2006, 11
■URL ▼ahttp://www.sensors.or.kr
■SIS ▼aS036787▼b60072478▼h8▼s2


