자료유형  

 기사

ISSN  

12255475

저자명  

김종석

서명/저자  

샌드 블러스터로 건식 식각한 마이크로 소자 패키지용 유리 웨이퍼의 표면 연구 / 김종석 저 , 남광우 , 좌성훈 , 권재홍 , 주병권 공저

발행사항  

서울 : 한국센서학회, 2006.

형태사항  

pp. 245-250

키워드  

건식 식각 마이크로 소자 유리 웨이퍼 표면

기타저자  

남광우

기타저자  

좌성훈

기타저자  

권재홍

기타저자  

주병권

기본자료저록  

센서학회지 = Journal of the Korean Sensors Society : 제15권 제4호 (2006년 7월) 2006, 07

URL  

http://www.sensors.or.kr

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Control Number  

kjul:60090972