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Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화
Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12269360
- 저자명
- 김규채
- 서명/저자
- Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화 / 김규채 저 , 강영재 , 유영삼 , 박진구 , 원영만 , 오광호 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국마이크로전자및 패키징학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 47-52
- 기타저자
- 강영재
- 기타저자
- 유영삼
- 기타저자
- 박진구
- 기타저자
- 원영만
- 기타저자
- 오광호
- 기본자료저록
- 마이크로전자 및 패키징 학회지=Journal of the Microelectronics and Pack : 2006 Vol. 13 No.3 ((40)) 2006, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60090687
MARC
008070226s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12269360
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■URL ▼ahttp://www.impask.or.kr
■SIS ▼aS035350▼b60075252▼h8▼s2
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