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오존과 SC-1 세정액에서의 실리콘 웨이퍼의 산화막 특성
오존과 SC-1 세정액에서의 실리콘 웨이퍼의 산화막 특성
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 17388228
- 저자명
- 김인정
- 서명/저자
- 오존과 SC-1 세정액에서의 실리콘 웨이퍼의 산화막 특성 / 김인정 , 배소익 공저
- 발행사항
- 서울 : 대한금속.재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 782-785
- 기타저자
- 배소익
- 기본자료저록
- 대한금속재료학회지=Journal of the Korean Institute of Metals and Mate : Vol.44 No.11 (2006년 11월) 2006, 11
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60090199
MARC
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