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클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어
클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12259845
- 저자명
- 김유진
- 서명/저자
- 클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어 / 김유진 저 , 신동헌 저
- 발행사항
- 경기 : 제어.자동화.시스템공학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 1095-1101
- 기타저자
- 신동헌
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60090030
MARC
008070213s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12259845
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■773 ▼t제어.자동화.시스템공학 논문지=Journal of Control, Automation, and Syst▼g제12권 제11호 (2006년 11월)▼d2006, 11
■URL ▼ahttp://icase.or.kr
■SIS ▼aS036559▼b60055376▼h8▼s2
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