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클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어
클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12259845
- Author
- 김유진
- Title/Author
- 클린 튜브 시스템에서 웨이퍼의 위치 인식 및 정지 제어 / 김유진 저 ; 신동헌 저
- Publish Info
- 경기 : 제어.자동화.시스템공학회, 2006.
- Material Info
- pp. 1095-1101
- Added Entry-Personal Name
- 신동헌
- Host Item Entry
- 제어.자동화.시스템공학 논문지=Journal of Control, Automation, and Syst : 제12권 제11호 (2006년 11월) 2006, 11
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60090030
MARC
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■URL ▼ahttp://icase.or.kr
■SIS ▼aS036559▼b60055376▼h8▼s2
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