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능동적 박막 펌핑에 의한 파운틴 펜 나노 리소그래피 유동 특성에 관한 연구
능동적 박막 펌핑에 의한 파운틴 펜 나노 리소그래피 유동 특성에 관한 연구
Detailed Information
MARC
008070122s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12264881
■1001 ▼a이진형
■245 ▼a능동적 박막 펌핑에 의한 파운틴 펜 나노 리소그래피 유동 특성에 관한 연구▼d이진형 저▼e이영관▼e이성근▼e이석한▼e김윤제▼e김훈모 공저
■260 ▼a서울▼b대한기계학회▼c2006.
■300 ▼app. 722-730
■653 ▼a능동적▼a박막▼a나노▼a리소▼a그래피▼a유동▼a특성
■7001 ▼a이영관
■7001 ▼a이성근
■7001 ▼a이석한
■7001 ▼a김윤제
■7001 ▼a김훈모
■773 ▼t대한기계학회논문집B=Transactions of the korean society of mechanical e▼g제30권 제8호 (통권 제251호)(2006년 8월)▼d2006, 08
■URL ▼ahttp://www.ksme.or.kr
■SIS ▼aS028737▼b60013887▼h8▼s2
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