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능동적 박막 펌핑에 의한 파운틴 펜 나노 리소그래피 유동 특성에 관한 연구
능동적 박막 펌핑에 의한 파운틴 펜 나노 리소그래피 유동 특성에 관한 연구 / 이진형 저 , 이영...
능동적 박막 펌핑에 의한 파운틴 펜 나노 리소그래피 유동 특성에 관한 연구

상세정보

자료유형  
 기사
ISSN  
12264881
저자명  
이진형
서명/저자  
능동적 박막 펌핑에 의한 파운틴 펜 나노 리소그래피 유동 특성에 관한 연구 / 이진형 저 , 이영관 , 이성근 , 이석한 , 김윤제 , 김훈모 공저
발행사항  
서울 : 대한기계학회, 2006.
형태사항  
pp. 722-730
키워드  
능동적 박막 나노 리소 그래피 유동 특성
기타저자  
이영관
기타저자  
이성근
기타저자  
이석한
기타저자  
김윤제
기타저자  
김훈모
기본자료저록  
대한기계학회논문집B=Transactions of the korean society of mechanical e : 제30권 제8호 (통권 제251호)(2006년 8월) 2006, 08
URL  
http://www.ksme.or.kr
모체레코드  
모체정보확인
Control Number  
kjul:60088227

MARC

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