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나노 X-선 쉐도우 마스크를 이용한 고폭비를 나노 구조물 제작
나노 X-선 쉐도우 마스크를 이용한 고폭비를 나노 구조물 제작
Detailed Information
- Material Type
- 기사
- ISSN
- 12264873
- Author
- 김용철
- Title/Author
- 나노 X-선 쉐도우 마스크를 이용한 고폭비를 나노 구조물 제작 / 김용철 저 ; 김종현 ; 이승섭 공저
- Publish Info
- 서울 : 대한기계학회, 2006.
- Material Info
- pp. 1314-1319
- Added Entry-Personal Name
- 김종현
- Added Entry-Personal Name
- 이승섭
- Host Item Entry
- 대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical : 제30권 제10호 (통권 제253호)(2006년 10월) 2006, 09
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60088005
MARC
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■URL ▼ahttp://www.ksme.or.kr
■SIS ▼aS035046▼b60013871▼h8▼s2
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