자료유형  

 기사

ISSN  

12264873

저자명  

김용철

서명/저자  

나노 X-선 쉐도우 마스크를 이용한 고폭비를 나노 구조물 제작 / 김용철 저 , 김종현 , 이승섭 공저

발행사항  

서울 : 대한기계학회, 2006.

형태사항  

pp. 1314-1319

키워드  

나노 X선 쉐도우 마스크 이용 구조물

기타저자  

김종현

기타저자  

이승섭

기본자료저록  

대한기계학회논문집A=Transactions of the korean society of mechanical : 제30권 제10호 (통권 제253호)(2006년 10월) 2006, 09

URL  

http://www.ksme.or.kr

모체레코드  

모체정보확인

Control Number  

kjul:60088005