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 기사

ISSN  

12296368

저자명  

오데레사

서명/저자  

탄소밀도의 변화가 SiOC박막의 결합구조에 미치는 영향 / 오데레사 저

발행사항  

서울 : 대한전자공학회, 2006.

형태사항  

pp. 11-16

키워드  

탄소 변화 SIOC박막의 결합

기본자료저록  

전자공학회논문지SD(Semiconductor and Devices) : 반도체 : 제43권 제5호 (2006 5) 2006, 05

URL  

http://www.ieek.or.kr

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Control Number  

kjul:60086214