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MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 다이아몬드상 카본 박막의 트라이볼로지 특성 분석
MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 다이아몬드상 카본 박막의 트라이볼로지 특성 분석
상세정보
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 최원석
- 서명/저자
- MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 다이아몬드상 카본 박막의 트라이볼로지 특성 분석 / 최원석 , 홍병유 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 1010-1013
- 기타저자
- 홍병유
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60085703
MARC
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