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MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 다이아몬드상 카본 박막의 트라이볼로지 특성 분석
MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 다이아몬드상 카본 박막의 트라이볼로지 특성 분석
Detailed Information
- 자료유형
- 기사
- ISSN
- 12267945
- 저자명
- 최원석
- 서명/저자
- MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 다이아몬드상 카본 박막의 트라이볼로지 특성 분석 / 최원석 , 홍병유 공저
- 발행사항
- 서울 : 한국전기전자재료학회, 2006.
- 형태사항
- pp. 1010-1013
- 기타저자
- 홍병유
- 모체레코드
- 모체정보확인
- Control Number
- kjul:60085703
MARC
008061212s2006 ULKa a KOR■022 ▼a12267945
■1001 ▼a최원석
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■7001 ▼a홍병유
■773 ▼t전기전자재료학회논문지(Journal of the korean Institute and Electronic▼g제19권 제11호 (2006년 11월)▼d2006, 11
■URL ▼ahttp://www.kieeme.or.kr
■SIS ▼aS035784▼b60055323▼h8▼s2
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